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半导体电子氟化冷却液——同性能替代

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氟化液  7018LQ

半导体CHILLER设备导热液    galden   电子氟化液

 

半导体广泛应用在电子产品、医疗仪器、5G 通讯、人工智能、航空航天、 新能源等领域。远岸科技7018LQ 氟化液具有温差范围宽,高沸点、低凝固点及较好的流动性,可以作为温控、散热介质应用在半导体干蚀刻、晶圆测试、封装测试等半导体制造过程。同时7018LQ 具有良好的绝缘性能、优越的环保性能、与多种材料的高兼容性及稳定性较强等特性,可以长期作为热传导介质使用, 并保持性能不发生变化。

 

产品特性

特点:无色、无味、优越的化学稳定性,优良的材料兼容性,温差范围宽, 高沸点、低凝固点、低粘度,无闪点,传热效率高,散热效果好,可精准控制温度;高绝缘性能、表面张力低、流动性好。

 

产品优点:环境友好、ODP 值为零,对臭氧无破坏;与接触材料具有很好的兼容性,对循环泵无腐蚀性,良好的温控性能,高温使用安全,不可燃、稳定性较强, 长期使用并保持性能不发生变化。

  

产品物性数据表

 

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产品使用范围

1. 可用作半导体和平板显示器制造设施中的离子注入机、干蚀刻机、CVD机器、晶圆检测和封装的温控散热传导介质;

 

2. 可用作半导体冷热冲击测试及热温控的散热传导介质。


3.在数据中心,浸没式冷却液(如氟化液)为服务器提供直接散热,实现高温供液、高能效(PUE可降至1.2以下)和低噪声运行,满足AI算力增长带来的散热需求


4.在晶圆加工过程中,冷却液用于冷却光刻机、蚀刻设备等关键设备的光学系统和部件,保持温度稳定,确保光刻图案的精确性和蚀刻工艺的均匀性,从而提升芯片良率。‌

 

产品储存与运输

1. 本氟化液 应贮存于清洁、干燥的仓库内,防止高温日晒,远离火源、远离酸,强碱,氧化剂等。

2. 本品 为无色,透明的液体,不可燃,按非危险品运输,运输时应避免剧烈振荡,堆放时避免倒置。

3. 本品 易挥发,在产品储存和运输过程中注意产品的密封性。

 

产品包装、贮存:

塑料桶包装:10KG/  20KG/桶,非危险品易于储存和运输;

贮存期1年,不能露天存放,防止  日晒雨淋

未使用完的冷却液须将桶盖拧紧,避免水分及杂质混入。

 

 

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