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远岸科技半导体芯片除蜡液:高效清洁的尖端解决方案

返回列表 来源: 深圳远岸科技有限公司 发布日期:2025-05-14

       在半导体芯片制造过程中,光刻工艺使用的光刻胶通常需要蜡类物质作为辅助材料,这些蜡质残留物在后续工艺中必须被彻底清除,否则将严重影响芯片性能和良率。传统除蜡方法往往存在效率低、腐蚀性强或环境污染等问题。远岸科技凭借多年材料科学研发经验,推出了新一代半导体芯片专用除蜡液,为行业提供了高效环保的解决方案。


       远岸科技半导体芯片除蜡液采用了独特的分子设计技术,其核心优势体现在三个方面:选择性清洁、微细结构保护和工艺兼容性。该产品基于先进的表面活性剂复配技术,能够精准识别并分解各种蜡质分子链,同时对硅基底、金属线路等芯片结构零损伤。实验数据显示,其对常见半导体蜡质的去除率达到99.97%以上,远高于行业平均95%的标准。特别值得一提的是,其创新的"梯度溶解"机制可以适应从90nm到5nm各种制程节点的清洁需求,包括最先进的EUV光刻工艺中使用的复杂蜡质成分。


        远岸科技在研发过程中始终坚持绿色化学原则,这款除蜡液完全不含重金属、卤素等有害物质,生物降解度达到90%以上。产品通过了SEMI S2、RoHS等多项国际认证,VOC排放量比传统产品降低70%,工作环境浓度仅为行业标准的1/5,大大提升了半导体工厂的作业安全性。特别设计的缓蚀体系能够在高效除蜡的同时,对铜、铝、钴等半导体常用金属形成纳米级保护膜,腐蚀速率控制在0.1Å/min以下。这种"清洁-保护"的双重机制解决了传统除蜡剂"清洁强则腐蚀强"的技术悖论。


        在国内某头部晶圆厂的量产测试中,远岸除蜡液展现出显著的综合优势。相比原用进口产品,其单次处理时间缩短30%,化学品消耗量降低25%,而缺陷率从0.15%降至0.05%以下。这使得该厂12英寸生产线每月可增加约300片有效产出,年经济效益超过2000万元。该产品具备出色的工艺宽容度,可在45-75℃宽温度范围内保持稳定性能,适应不同厂务条件。独特的"自排液"配方设计减少了DI水冲洗次数,每批次可节约超纯水用量约15%,契合半导体行业可持续发展的需求。

远岸科技半导体除蜡液.jpg


        远岸科技研发总监表示,公司正在开发面向第三代半导体材料的专用除蜡系列,以适应碳化硅、氮化镓等宽禁带半导体器件的制造需求。同时,基于AI的智能浓度监控系统也在研发中,将实现除蜡液寿命的精准预测和自动化补给。


        远岸科技半导体芯片除蜡液不仅解决了制造过程中的实际问题,更以其卓越的性能和环保特性,正在重新定义行业清洁标准。随着中国半导体产业链的不断完善,这类关键材料的自主创新将为产业安全和发展提供坚实保障,助力中国芯走向更高端制造。


  广东远岸科技拥有自主生产基地和配套灌装封装设备,研发和生产高品质 工业清洗剂|切削液|防锈剂|除锈剂|除蜡水|,欢迎拨打咨询热线:166-2085-8035”转载请保留本文地址:www.jiagongye.cn除特别声明。


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